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Película de Si3N4 sobre oblea de silicio de LPCVD.
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100% PrepayOblea de nitruro de silicio
Diámetro | 2 pulgadas, 3 pulgadas | 4 pulgadas | 6 pulgadas |
Orientación | (100) | (100) | (100) |
Tipo | NOTARIO PÚBLICO | NOTARIO PÚBLICO | NOTARIO PÚBLICO |
dopante | Phos, Boro, As, Sb, Undopant | Phos, Boro, As, Sb, Undopant | Phos, Boro, As, Sb, Undopant |
Espesor del sustrato | 280, 400, 500, cualquier otro espesor según su petición | 500.525, cualquier otro espesor según su petición | 625.675, cualquier otro espesor según su petición |
Resistividad (Ohm.cm) | <0,1, <0,01,1-10,1-100,>5000,>10000 cualquier otro según su petición | <0,1, <0,01,1-10,1-100,>5000,>10000 cualquier otro según su petición | <0,1, <0,01,1-10,1-100,>5000,>10000 cualquier otro según su petición |
Si3N4 en superficie | doble cara con Si3N4 capa | doble cara con capa de Si3N4 | doble cara con capa de Si3N4 |
El espesor de la capa de Sio2. | 100 nm, 200 nm, 300 nm Cualquier otro espesor según su petición | 100 nm, 200 nm, 500 Cualquier otro espesor según su petición | 50 nm, 100 nm, 200 nm, 300 nm Cualquier otro espesor según su petición |
Nota: Podemos proporcionar productos personalizados. Bienvenido a contactarnos. |
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